由康奈爾大學的科學家領導的合作創(chuàng)造了第一個微型機器人，其中包含能夠由標準電子信號控制的半導體組件。由于該電子信號，微型機器人也能夠行走。研究人員表示，這些機器人的大小與草履蟲差不多，并為構建更復雜的自身版本提供了模板，這些版本利用基于硅的智能進行大規(guī)模生產。

總有一天這種類型的機器人可以穿過人體組織和血液。這些機器人是研究人員先前納米級創(chuàng)作的最新版本，包括微型傳感器和基于圖形的折紙機。草履蟲大小的機器人大約 5 微米厚，40 微米寬，從 40 到 70 微米不等。

每個機器人都有一個由硅光伏制成的簡單電路，用作機器人的軀干和大腦，以及四個用作腿的電化學致動器。創(chuàng)造微型機器人的腿非常困難。沒有可用于機器人的微型電動執(zhí)行器，因此研究人員必須發(fā)明它們并將它們與電子設備結合起來。

原子層沉積和光刻技術被用來用只有幾十個原子厚的鉑帶構建腿，一邊是一層薄薄的惰性鈦。當對鉑施加正電荷時，帶負電荷的離子會吸收到周圍溶液的暴露表面中以中和電荷。離子迫使鉑膨脹，使條帶彎曲。

用于腿的鉑金條非常薄，可以急劇彎曲而不會斷裂。為了控制四肢的運動，研究人員在條帶頂部使用了剛性聚合物面板。面板之間的間隙就像膝蓋或腳踝一樣，允許腿以可控的方式彎曲。

這些機器人是通過在不同的光伏電池上閃爍的激光脈沖為不同的腿充電來控制的。當激光在前后光伏之間來回切換時，機器人可以行走。這些小機器人需要非常低的 200 毫伏電壓和僅 10 納瓦的功率。該團隊目前正在探索改進機器人的方法，以創(chuàng)建成群的微型機器人，這些機器人可以在人體內爬行以修復損傷并充當探針。